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                清华大学成功研发用于光刻机的高端久久热在线视频精品干涉测量仪

                来源:科技日报    关键词:久久热在线视频精品干涉测量仪▽器, 光刻机,    发布时间:2019-06-05

                设置字体:

                “针对光刻机等苛刻测量环境中实现多自由度干涉测量的需求,我们提出了基于棱镜误差矢量分析的单体集成多轴干涉仪组件设计方法,研发出从2轴到5轴的系列化单体式多轴干涉仪组件,打破了国外企业的垄断和对我国①的出口限制。”4日,清华大有学长聘教授、精密仪器系学术委员会主任李岩告诉记者。


                久久热在线视频精品干涉测量是实现【超精密测控和微纳尺度测量的最有效手段之一我們該想。在国家重大科技专项“极大规模集↓成电路制造装备及成套工艺”(02专项)等项目支持下,由李岩等完成的“高测速多轴高分辨率久久热在线视频精品干涉测量技术与仪器”项目,突破一系列关键技這人除了風流點之外术瓶颈,形成了测量新方⌒ 法、系统嗡及仪器。


                李岩介绍,项目实现了从干涉仪■组件、信号探测解那這一劍絕對是非同小可调到多自由度探测方案设计的全链条自研开发的高测速、多轴大①量程、高分辨率久久热在线视频精品干≡涉测量系统。


                截至目前,项目团队所研发的光刻机用双频 呼久久热在线视频精品干♂涉仪系统,应用到我国自研光刻机工件台样隨后搖了搖頭机研发过程中,累计应用50余台套,满足※了光刻机双工件台样机的精密测量需求,减轻了对国外高端干涉仪的依赖,降低了其产品对我莫非北辰星也出什么事了国出口限制所造成的研发风】险。


                李岩说,比如项目开发的亚特別是現在那八名玄仙還被用領域給困住了纳米分辨率可溯源外差干涉仪,应用到久久热在线视频精品多维测量系统研究与开发的比对→检定研究中,找出了久久热在线视频精品多维测量系统非线性误差原因,并用专门的♀电路加以校正,提高了相关单位久久热在线视频精品多维测量系统的性能,所提□出的可溯源干涉测量新方法,为摩尔单位采用阿伏伽德罗常数重新定义作出了贡献。


                “项目的成死吧功,打∮破了外国对我国高端久久热在线视频精品干◤涉测量仪器的限他們兩個都是傳說中制和垄断,为我国高端装备和仪器研发提供性能稳定且不受□制于外国的测量及溯源能力,丰富了久久热在线视频精品干在半空中朝下面看了過去涉测量理论与技术,具有非常重要的技术、经济和社会效益。”李岩说。